dbo:abstract
|
- الصهر النطاقي (يطلق عليه أيضاً: التطويف النطاقي، التنقية النطاقية) هو مجموعة من الطرق والعمليات المستخدمة من أجل إنتاج بلورات أحادية عالية النقاوة. تستخدم هذه العملية بشكل كبير في صناعة أشباه الموصلات في مجال الترانزستور. طورت هذه العملية من قبل وليام غاردنر بفان William Gardner Pfann في مختبرات بل بين سنتي 1950 و 1951. استخدمت هذه العملية في البداية من أجل الحصول على عنصر الجرمانيوم عالي النقاوة، بعد ذلك أصبح بالإمكان تطبيق العملية على أي نظام محلول-مُحلّ لديه فرق معتبر في التركيز بين الطورين الصلب والسائل عند التوازن. (ar)
- Das Zonenschmelzverfahren (auch: „Zonenziehen“) ist ein Verfahren zur Herstellung von hochreinen einkristallinen Werkstoffen. Andere Bezeichnungen für Zonenschmelzen sind Float-Zone-Verfahren, Fließzonenverfahren, Zonenreinigung, Zonenrandschmelzverfahren oder Zonenfloating. Es wurde 1950/51 durch William Gardner Pfann an den Bell Laboratories entwickelt. (de)
- La méthode de la zone fondue (également appelée technique de la zone fondue, fusion de zone ou raffinage par zone fondue et désignée en anglais par les termes zone melting et zone refining) est une technique permettant de purifier des composés cristallisés stables à la fusion. L'avantage de cette technique est qu'elle peut permettre d'obtenir de très hauts degrés de pureté (99,999 % en masse pour le silicium, par exemple). Elle a été inventée dans les années 1950 par W. G. Pfann. La méthode est principalement appliquée aux métaux, semi-conducteurs, ou autres composés inorganiques (oxydes, intermétalliques, etc.). Quelques applications existent pour les composés organiques, mais elles restent toutefois peu nombreuses en raison de leur faible stabilité à l'état fondu. Le phénomène physicochimique sur lequel se fonde la méthode existe dans la nature, mais de façon extrêmement limitée. (fr)
- Zone melting (or zone refining, or floating-zone method, or floating-zone technique) is a group of similar methods of purifying crystals, in which a narrow region of a crystal is melted, and this molten zone is moved along the crystal. The molten region melts impure solid at its forward edge and leaves a wake of purer material solidified behind it as it moves through the ingot. The impurities concentrate in the melt, and are moved to one end of the ingot. Zone refining was invented by John Desmond Bernal and further developed by William G. Pfann in Bell Labs as a method to prepare high purity materials, mainly semiconductors, for manufacturing transistors. Its first commercial use was in germanium, refined to one atom of impurity per ten billion, but the process can be extended to virtually any solute–solvent system having an appreciable concentration difference between solid and liquid phases at equilibrium. This process is also known as the float zone process, particularly in semiconductor materials processing. (en)
- ゾーンメルト法(ゾーンメルトほう、英:Zone melting)とは不純物の多い金属のインゴットから純度の高いインゴットを精製するための不純物分離法である。 ゾーン精製法はインゴットの末端に不純物を分離する、あるいは分析などを目的に不純物を濃縮するために利用される。これに対して、ゾーン均一法は不純物を材料に均一に含ませる方法である。トランジスターやダイオード半導体の製造において、ゲルマニウムインゴットはゾーンメルト法によって製造される。次に、少量のアンチモンを融解相に加え、インゴット中を通していく。適切な加熱条件の選択により、アンチモンを均一にゲルマニウムに溶けこませることができる。 (ja)
- Zonesmelten is een techniek om grote en zuivere eenkristallen van halfgeleidermaterialen, zoals silicium en germanium, te maken. Een cilindrische staaf van het te verwerken materiaal wordt langzaam door een inductiespoel gevoerd, waarbij het gedeelte binnen de spoel partieel opsmelt. Dit wordt in een inerte omgeving (argon bij lage druk) uitgevoerd. Ook kunnen in de gasfase doteringsstoffen aangebracht worden om het materiaaltype (n- of p-type) en de geleidbaarheid te bepalen. Aan de kant, waar de smelt de spoel verlaat, zal het materiaal volgens het al bestaande kristalrooster weer aangroeien. Hiervoor wordt aan het begin van de staaf vaak een entkristal aangebracht. Dit bepaalt de uiteindelijke kristaloriëntatie. Omdat de verontreinigingen de neiging hebben in het vloeibare gedeelte te blijven zal de concentratie van verontreinigingen naar achteren geduwd worden. Na een aantal herhalingen kan het verontreinigde gedeelte afgezaagd worden en blijft een zuiver kristal over. In tegenstelling tot het Czochralski-proces, waarbij vanuit een kwartsglazen smeltkroes een kristalstaaf gegroeid wordt, komt er weinig zuurstof in het materiaal (meestal beneden de detectielimiet). Dit levert zeer zuiver materiaal op. Het nadeel hiervan is wel dat eventuele (metaal)verontreinigingen die nog in het materiaal zitten niet aan zuurstof gebonden worden (gettering). De staaf eenkristal wordt vervolgens in plakken (zogenaamde wafers) gezaagd, waarop vervolgens door middel van fotolithografie geïntegreerde schakelingen worden aangebracht. (nl)
- Fusão zonal ou refino zonal ou fusão zonal móvel é um grupo de métodos semelhantes de purificação de cristais, no qual uma zona delimitada do cristal é fundida, e essa zona "amolecida" é movida ao longo do cristal. Quando essa zona fundida se move ao longo do lingote, derrete as impurezas sólidas a sua frente e deixa um material mais puro solidificado atrás de si.As impurezas ficam retidas na zona fundida e são movidas para a extremidade do lingote. O refino zonal foi inventado por John Desmond Bernal e desenvolvido por na Bell Labs para obter materiais com alto nível de pureza, principalmente semicondutores. O primeiro uso comercial desse processo foi no germânio, refinado a um átomo de impureza por dez bilhões, mas o processo pode ser usado virtualmente em qualquer sistema solução-solvente tendo diferenças consideráveis de concentração entre as fases sólida e líquida em equilíbrio. (pt)
- Зонна плавка, зонна очистка — метод очищення матеріалів, у якому в матеріалі створюється зона розплаву, що повільно пересувається від одного кінця до другого, залишаючи за собою шар очищеної речовини. Ідея методу полягає в тому, що домішки в розплаві мають розчинність, відмінну від розчинності в твердому тілі (при відсутності ліквації). Кремній, вирощений методом зонної плавки, позначають FZ на відміну від кремнію, вирощеного методом Чохральського, який позначається CZ. (uk)
- Зо́нная пла́вка (зо́нная перекристаллиза́ция) — метод очистки твёрдых веществ, основанный на различной растворимости примесей в твёрдой и жидкой фазах. Метод является разновидностью направленной кристаллизации, от которой отличается тем, что в каждый момент времени расплавленной является некоторая небольшая часть образца. Такая расплавленная зона передвигается по образцу, что приводит к перераспределению примесей. Если примесь лучше растворяется в жидкой фазе, то она постепенно накапливается в расплавленной зоне, двигаясь вместе с ней. В результате примесь скапливается в одной части исходного образца. По сравнению с направленной кристаллизацией этот метод обладает большей эффективностью. Метод был предложен Уильямом Гарднером Пфанном в 1952 году и с тех пор завоевал большую популярность. В настоящее время метод используется для очистки более 1500 веществ. Схема устройства для зонной плавки в лодочке приведена на рисунке Очищаемое вещество помещают в лодочку из тугоплавкого материала. Основные требования к материалу лодочки:
* высокая температура плавления;
* материал лодочки не должен растворяться в очищаемом веществе или реагировать с ним. Лодочку помещают в горизонтальную трубу, у которой один конец может быть запаян или через него подают инертный газ. Если он запаян, то другой конец трубы соединён с вакуумной установкой. Один конец образца расплавляется, затем расплавленная зона начинает двигаться вдоль слитка. Длина расплавленной зоны зависит от длины слитка и составляет несколько сантиметров. Вещество плавится либо индукционными токами, либо теплопередачей в печи сопротивления. Скорость движения составляет, как правило, от нескольких миллиметров до нескольких сантиметров в час. Движение может осуществляться либо за счет вытягивания лодочки через неподвижную печь, либо смещением зоны нагрева. Иногда для повышения эффективности увеличивают число проходов зоны или число зон.Распределение примеси характеризуется , который равен где СS — концентрация примеси в твёрдой фазе, СL — концентрация примеси в жидкой фазе. Иногда вместо коэффициента распределения K используют коэффициент разделения α, который равен . Примеси, для которых коэффициент распределения K < 1, концентрируются в расплавленной зоне и вместе с ней перемещаются к концу слитка. С другой стороны от расплавленной зоны образуются слои вещества, более чистого относительно примесей, для которых K < 1. Те примеси, для которых K > 1, наоборот, концентрируются в начале слитка. Если осуществить многократное прохождение расплавленной зоны, то примеси с K < 1 соберутся в конце слитка.Для примесей с К > 1 метод мало эффективен. Самые чистые части слитка (из середины) используются для изготовления приборов. Таким методом можно очистить германий до образцов с удельным сопротивлением порядка 70 Ом·см, в которых остаётся примерно один атом примеси на 1010 атомов германия. Если расплав вступает в реакцию с материалом тигля (лодочки), или очищаемое вещество имеет высокую температуру плавления (>1500 °C), применяют бестигельную зонную плавку. Метод обладает рядом недостатков. Основной недостаток — невозможность масштабирования, так как скорость процесса определяется скоростью диффузии примеси. Поэтому метод применяется для конечной стадии очистки при получении особо чистых веществ. Максимальные габариты лодочки — длина 50 см, толщина — 2‒3 см, длина расплавленной зоны — 5 см. (ru)
- 区域熔炼(簡稱区熔;英語:zone melting,或譯帶域熔化)——又稱區精煉(zone refining)或浮動區、浮區法、浮帶製程、FZ法(floating zone process)——是一類纯化晶體(如金属和半导体)的方法。晶體上一個狹窄的區域熔融,此熔化區是沿晶體移動(在實踐中,晶體被拉動穿過加熱器)。熔化區將不純固體在固體前邊緣熔化并將更純的物質凝固在後邊留下。重覆上述過程最終將雜質集中於晶柱的一端,其餘大部分的晶柱部分呈現成分較純的固體。區域熔煉法可以適用到幾乎所有有明顯的固相和液相之間濃度差異的平衡溶質-溶劑系統。區域熔煉法現在已是重要的半導體製程之一。 (zh)
|
rdfs:comment
|
- الصهر النطاقي (يطلق عليه أيضاً: التطويف النطاقي، التنقية النطاقية) هو مجموعة من الطرق والعمليات المستخدمة من أجل إنتاج بلورات أحادية عالية النقاوة. تستخدم هذه العملية بشكل كبير في صناعة أشباه الموصلات في مجال الترانزستور. طورت هذه العملية من قبل وليام غاردنر بفان William Gardner Pfann في مختبرات بل بين سنتي 1950 و 1951. استخدمت هذه العملية في البداية من أجل الحصول على عنصر الجرمانيوم عالي النقاوة، بعد ذلك أصبح بالإمكان تطبيق العملية على أي نظام محلول-مُحلّ لديه فرق معتبر في التركيز بين الطورين الصلب والسائل عند التوازن. (ar)
- Das Zonenschmelzverfahren (auch: „Zonenziehen“) ist ein Verfahren zur Herstellung von hochreinen einkristallinen Werkstoffen. Andere Bezeichnungen für Zonenschmelzen sind Float-Zone-Verfahren, Fließzonenverfahren, Zonenreinigung, Zonenrandschmelzverfahren oder Zonenfloating. Es wurde 1950/51 durch William Gardner Pfann an den Bell Laboratories entwickelt. (de)
- ゾーンメルト法(ゾーンメルトほう、英:Zone melting)とは不純物の多い金属のインゴットから純度の高いインゴットを精製するための不純物分離法である。 ゾーン精製法はインゴットの末端に不純物を分離する、あるいは分析などを目的に不純物を濃縮するために利用される。これに対して、ゾーン均一法は不純物を材料に均一に含ませる方法である。トランジスターやダイオード半導体の製造において、ゲルマニウムインゴットはゾーンメルト法によって製造される。次に、少量のアンチモンを融解相に加え、インゴット中を通していく。適切な加熱条件の選択により、アンチモンを均一にゲルマニウムに溶けこませることができる。 (ja)
- Зонна плавка, зонна очистка — метод очищення матеріалів, у якому в матеріалі створюється зона розплаву, що повільно пересувається від одного кінця до другого, залишаючи за собою шар очищеної речовини. Ідея методу полягає в тому, що домішки в розплаві мають розчинність, відмінну від розчинності в твердому тілі (при відсутності ліквації). Кремній, вирощений методом зонної плавки, позначають FZ на відміну від кремнію, вирощеного методом Чохральського, який позначається CZ. (uk)
- 区域熔炼(簡稱区熔;英語:zone melting,或譯帶域熔化)——又稱區精煉(zone refining)或浮動區、浮區法、浮帶製程、FZ法(floating zone process)——是一類纯化晶體(如金属和半导体)的方法。晶體上一個狹窄的區域熔融,此熔化區是沿晶體移動(在實踐中,晶體被拉動穿過加熱器)。熔化區將不純固體在固體前邊緣熔化并將更純的物質凝固在後邊留下。重覆上述過程最終將雜質集中於晶柱的一端,其餘大部分的晶柱部分呈現成分較純的固體。區域熔煉法可以適用到幾乎所有有明顯的固相和液相之間濃度差異的平衡溶質-溶劑系統。區域熔煉法現在已是重要的半導體製程之一。 (zh)
- La méthode de la zone fondue (également appelée technique de la zone fondue, fusion de zone ou raffinage par zone fondue et désignée en anglais par les termes zone melting et zone refining) est une technique permettant de purifier des composés cristallisés stables à la fusion. L'avantage de cette technique est qu'elle peut permettre d'obtenir de très hauts degrés de pureté (99,999 % en masse pour le silicium, par exemple). Elle a été inventée dans les années 1950 par W. G. Pfann. (fr)
- Zone melting (or zone refining, or floating-zone method, or floating-zone technique) is a group of similar methods of purifying crystals, in which a narrow region of a crystal is melted, and this molten zone is moved along the crystal. The molten region melts impure solid at its forward edge and leaves a wake of purer material solidified behind it as it moves through the ingot. The impurities concentrate in the melt, and are moved to one end of the ingot. Zone refining was invented by John Desmond Bernal and further developed by William G. Pfann in Bell Labs as a method to prepare high purity materials, mainly semiconductors, for manufacturing transistors. Its first commercial use was in germanium, refined to one atom of impurity per ten billion, but the process can be extended to virtuall (en)
- Zonesmelten is een techniek om grote en zuivere eenkristallen van halfgeleidermaterialen, zoals silicium en germanium, te maken. Een cilindrische staaf van het te verwerken materiaal wordt langzaam door een inductiespoel gevoerd, waarbij het gedeelte binnen de spoel partieel opsmelt. Dit wordt in een inerte omgeving (argon bij lage druk) uitgevoerd. Ook kunnen in de gasfase doteringsstoffen aangebracht worden om het materiaaltype (n- of p-type) en de geleidbaarheid te bepalen. (nl)
- Fusão zonal ou refino zonal ou fusão zonal móvel é um grupo de métodos semelhantes de purificação de cristais, no qual uma zona delimitada do cristal é fundida, e essa zona "amolecida" é movida ao longo do cristal. Quando essa zona fundida se move ao longo do lingote, derrete as impurezas sólidas a sua frente e deixa um material mais puro solidificado atrás de si.As impurezas ficam retidas na zona fundida e são movidas para a extremidade do lingote. O refino zonal foi inventado por John Desmond Bernal e desenvolvido por na Bell Labs para obter materiais com alto nível de pureza, principalmente semicondutores. O primeiro uso comercial desse processo foi no germânio, refinado a um átomo de impureza por dez bilhões, mas o processo pode ser usado virtualmente em qualquer sistema solução-solve (pt)
- Зо́нная пла́вка (зо́нная перекристаллиза́ция) — метод очистки твёрдых веществ, основанный на различной растворимости примесей в твёрдой и жидкой фазах. Метод является разновидностью направленной кристаллизации, от которой отличается тем, что в каждый момент времени расплавленной является некоторая небольшая часть образца. Такая расплавленная зона передвигается по образцу, что приводит к перераспределению примесей. Если примесь лучше растворяется в жидкой фазе, то она постепенно накапливается в расплавленной зоне, двигаясь вместе с ней. В результате примесь скапливается в одной части исходного образца. По сравнению с направленной кристаллизацией этот метод обладает большей эффективностью. Метод был предложен Уильямом Гарднером Пфанном в 1952 году и с тех пор завоевал большую популярность. В (ru)
|